Microfabrication of PZT ferroelectric films by water-lift-off using CaO films

CaOを用いた水リフトオフ法によるPZT強誘電体薄膜の微細加工

この研究では、酸化物材料の代表として圧力センサーへの応用を目的とした圧電体Pb(Zr,Ti)O3に注目しました。 Pb(Zr,Ti)O3は現在主流の微細加工技術である反応性イオンエッチング(RIE)適用が困難とされています。そこで新たな微細加工技術として、酸化カルシウム(CaO)を用いたリフトオフ法を開発し、その加工プロセスの精度や速度の向上を目指しています。

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